Главна класификација машина за вакуум премаз

Постоје две главне категорије: превлачење таложења испаравања и прекривање депоновања, који укључују многе врсте, укључујући усаглашавање у вакууму, магнетрон Спуптринг, МБЕ Молекуларна појас, СОЛ - метода гела, СОЛ {- гел метода итд.
1. За превлачење испаравања:
Генерално, циљни материјал се загрева да испари површинске компоненте у облику атомских група или јона.
Дебљина униформност углавном зависи од:
1. степен подударања решетке између материјала подлоге и циљног материјала
2 Температура површине подлоге
3. Снага испаравања, стопа
4. диплома за усисавање
5. време премаза, величина дебљине.
Уједначена од стране компонената:
Компонентност уједначености испаравања није лако гарантовати. Специфични фактори који се могу подесити су исти као горе. Међутим, због ограничења принципа, за нон- појединачни компонентни премаз, компонентна униформност испаравања није добра.
Оријентација кристалне оријентације:
1. Степен за подударање решетке
2 Температура подлоге
3. Стопа испаравања
Прекидач за пуцање може се поделити у многе врсте. Генерално гледано, разлика из превлачења испаравања је да ће стопа пушења постати један од главних параметара.
У превлаку за пропадање, ласерско провлачење превлака је једноставан за одржавање једноличности компоненте, али уједначеност дебљине на атомској скали је релативно лоша (јер је топлотности на расту кристала (спољна ивица) такође релативно општи.