1. Основна структура машине за усисавање вакуумског премаза
Вакуумска машина је уређај који депонизује танки филм на површини подлоге физичким или хемијским методама под вакуумским окружењем. Његова основна структура укључује следеће делове:
1. Вакуумски систем: Састоји се од механичке пумпе, молекуларне пумпе, дифузијске пумпе итд., Која се користи за пумпање коморе за превлачење у високо вакуумско окружење од 10⁻³ ~ 10⁻⁶ ПА (погледајте "Вакуумски премаз технологија"). На пример, механичка пумпа може смањити притисак на 1 ~ 10 ПА, а молекуларна пумпа може даље да га смањи на испод 10⁻⁴ ПА.
2 Комора за превлачење: Главно тело је шупљина од нехрђајућег челика, што је корозија - отпорна и има снажно заптивање. Величина се креће од 0,5 м³ за мале лабораторије на 5 м³ за индустријску оцену (као што је Улвац'с АРЛ-300 модел).
3. Извор испаравања: Одаберите грејање отпорности, електронским снопом или магнетронским пуцањем у складу са захтевима процеса. На пример, снага извора испаравања електрона снопа може доћи до 10 кВ, а стопа испаравања је око 1 ~ 5 НМ / с.
2 Разлике у саставу различитих врста машина за превлачење
1. Физичка таложење паре (ПВД) Опрема:
- Машине за надувавање магнетни превлаке морају бити опремљене циљним материјалима (као што су циљеви титанијум-а, алуминијумски циљеви) и магнетним теренским системима и притисак радног гаса је обично 0,1 ~ 10 па.
- АРЦ ионске машине за превлачење додају изворе лука, струја може доћи до 100 ~ 200 а, а филмска адхезија је јача.
2 Опрема за таложење хемијских паре (ЦВД):
- Реактивни гасови (као што су Сихин, Цх₄) морају се увести, а систем за контролу протока гаса је опремљен, са тачношћу ± 1 СЦЦМ (стандардни милилитери / минут).
3. Помоћни системи и кључни технички параметри
1. Контролни систем: ПЛЦ или Индустријски рачунар користи се за праћење вакуума, температуре (± 1 степен тачности) и дебљине филма (мерено методом кристалног осцилације кварцно кристално, тачност ± 0,1 нм) у реалном времену.
2 Систем хлађења: Проток протока дизајна воденог цевовода је обично 20 ~ 50 л / мин да би се осигурало дуго - термин стабилност опреме.
ИВ. Пријава сценарија и препоруке за избор
1. Оптички премаз: Захтијева велику униформност (± 1% дебљина дебљине) и треба да одабере више- Цруцибле Извор испаравања електронског снопа.
2. Премаз алата: Фокусира се на тврдоћу (као што је каливни премаз може доћи до 2000 ХВ) и пожељна је опрема за прекривање АРЦ-а.
Кроз горњу анализу корисници могу одабрати тип и конфигурацију машине за уклапање према премаз према стварним потребама (као што су перформанси филма, ефикасност производње).
