У многим ПВД пројектима, врло типичан проблем се често сусреће:
На истом радном комаду, неке области су веома дебеле, док су друге веома танке, понекад са веома очигледним разликама.
Прва реакција многих људи је: Да ли постоји проблем са ротирајућим оквиром? Да ли је ротација неуједначена?
Тако почињу: провера мотора, подешавање брзине, оптимизација уређаја.
Али резултат је често: ограничено побољшање, или чак никаква промена.
Ово илуструје кључну тачку:
Неуједначена дебљина није само „проблем ротације“, већ и „проблем расподеле плазме“.
Прво, закључак: Ово је „проблем просторне дистрибуције“.
Дебљина филма у суштини зависи од: атомског флукса који достиже површину у јединици времена.
А овај ток је често: просторно не{0}}уједначен.
Другим речима: "проток материјала" који добија радни предмет варира на различитим локацијама.
Друго. Шта тачно решава ротација?
Многи људи схватају ротацију:
"Уједначите слој филма"
Али тачније разумевање је:
Ротација само „просечи неравнине“ уместо да их елиминише.
За једноставан пример: Ако је дистрибуција плазме: јака на једној страни, слаба на једној страни, након ротације: Радни предмет ће периодично пролазити кроз јаке и слабе области. Резултат: Добија се "просечна вредност".
Али премиса је:
Разлика не може бити превелика
Ако је разлика превелика:
Колико год да га окрећете, никада неће бити потпуно равномерно.
Треће. Када је "проблем ротације"?
Карактеристика 1: Дебљина се периодично мења
на пример:
Дебљина се редовно мења са сваким обртајем
Карактеристика 2: Лоша конзистентност између различитих обрадака; неки су добри, неки лоши.
Карактеристика 3: Значајно побољшање у подешавању брзине.
Уобичајени узроци: Нестабилна брзина ротације; Ексцентрицитет ротације; Асиметрично постављање радног предмета.
Закључак: Кључни проблем у проблемима ротације је „неравномерна временска расподела“.
Фортх. Када је то "проблем са плазмом"? (чешће)
Карактеристика 1: Увек густа у одређеном правцу
Како год да се окреће, овај регион је увек дебљи.
Карактеристика 2: Укупан „просторни помак“
На пример: страна ближа мети је дебља, док је страна која је удаљенија тања.
Карактеристика 3: Сви радни предмети имају сличне шаре.
Уобичајени узроци:
1. Неравномерна дистрибуција магнетног поља; Неуједначена ерозија циља; Неуједначена густина плазме
2. Утицај структуре шупљине: опструкција, рефлексија
3. Више-сметања: Неуједначена суперпозиција између различитих циљева.
4. Неразуман дизајн положаја радног комада
Закључак:
Срж проблема плазме је "неуједначен просторни извор"
Пето. Кључна заблуда
Многи људи, када се суоче са неравнинама,
њихова прва реакција је подешавање ротације. Али у стварности: ротација може само да ублажи проблем, а не да га излечи.
Ако је основни узрок озбиљна нехомогеност плазме, онда је повећање брзине ротације само привремено решење.
Шесто. Како брзо одредити врсту проблема?
Ево практичне методе:
Метод 1: Поправите радни предмет (без ротирања)
Обратите пажњу на: дистрибуцију дебљине филма
Ако у овом тренутку: дистрибуција је већ озбиљно неуједначена; Закључак: Проблем са плазмом.
Метод 2: Промените брзину ротације
ако:
Промена брзине ротације → Значајна промена у униформности
Закључак: Ротациони проблем
Метод 3: Промените положај радног предмета
Ако: Промени положај → Промена дистрибуције
Закључак: Проблем просторне дистрибуције
Седмо. Заиста ефикасне стратегије оптимизације
1. Одредите приоритет решавању „просторне дистрибуције“
Оптимизујте циљну позицију; подесите магнетно поље; побољшати структуру шупљине
2. Даље оптимизујте стратегију ротације
Брзина ротације
Трајекторија ротације
Осцилирајући режим
3. Оптимизирајте постављање радног предмета: Избегните опструкцију и побољшајте симетрију.
4. Више-колаборативни дизајн: Омогућавање различитим циљевима да формирају „уједначену суперпозицију“.
Осмо. Кључна когнитивна надоградња
Многи људи разумеју проблем као:
"Неуједначена структура мембране је механички проблем."
Али фундаменталније разумевање је:
Ово је проблем "неуједначеног масовног транспорта".
Другим речима, путања материјала од мете до радног предмета је просторно не{0}}уједначена.
Девето. Финал Суммари
Да ли је велика разлика у дебљини на истом радном комаду проблем ротације или{0}}плазме?
одговор је:
То може бити проблем ротације, али чешће је то проблем дистрибуције плазме. Кључна разлика је:
Ротациона питања → временска неуједначеност; Питања у вези са{0}} плазмом → просторна неуједначеност.
