У машинама за вакуумско облагање магнетронским распршивањем, материјал који се облаже назива се супстрат, а материјал који се облаже назива се мета. И супстрат и мета се налазе унутар вакуумске коморе. Облагање испаравањем обично укључује загревање мете да би се испариле компоненте површине у облику атомских кластера или јона. Ове испарене компоненте се затим таложе на површину супстрата, формирајући танак филм кроз процес-формирања филма (расута-структура острва-лутајућа структура-раст слоја).
За премазе за распршивање, то се једноставно може схватити као коришћење електрона или ласера високе{0}}е енергије за бомбардовање мете, распршивање површинских компоненти у атомске кластере или јоне, који се затим таложе на површину супстрата, пролазећи кроз процес-формирања филма да би се на крају формирао танак филм.
Процедуре рада: Рад контролног ормара
1. Укључите пумпу за воду и довод ваздуха.
2. Укључите главно напајање.
3. Укључите напајање пумпе за задржавање и вакуум мерача. Подесите вакуум мерач на В1 положај и сачекајте да вредност буде мања од 10 пре него што пређете на следећи корак. Ово траје отприлике 5 минута.
4. Укључите механичку пумпу за пред{1}}евакуацију. Укључите турбомолекуларну пумпу и покрените је. Пребаците прекидач вакуум мерача на В2 и евакуишите све док вредност не буде мања од 2. Ово траје приближно 20 минута.
5. Након што очитавање турбомолекуларне пумпе достигне 250, искључите пред{2}}евакуацију. Укључите предњу пумпу и вентил високог вакуума да бисте наставили са евакуацијом. Тек након достизања одређеног нивоа вакуума можете укључити високи вакуум мерач на десној страни и посматрати степен вакуума. Снага електронског топова може се укључити само након што вакуум достигне 2 × 10⁻³.
ДЕФ-6Б Операција:
1. Главно напајање.
2. Истовремено укључите Елецтрон Гун Цонтрол И и Елецтрон Гун Цонтрол ИИ: Притисните прекидач за напајање и одлагање за Елецтрон Гун Цонтрол И. Лампице одлагања, напајања и заштите ће се упалити. Након три минута, лампице одлагања и заштите ће се искључити. Ако задња врата нису добро затворена или релеј протока воде не ради, заштитна лампица ће остати упаљена.
3. Укључите напајање високог напона. Висок напон ће достићи преко 10КВ. Подесите струју зрака на приближно 200мА. Мрежа екрана је 20В/100мА, струја филамента је 1,2А, а струја отклона варира између 1 и 1,7А.
