Машина за вакуумско облагањеуглавном се односи на тип премаза који треба да се изведе под релативно високим степеном вакуума, укључујући многе типове, укључујући вакуумско јонско испаравање, магнетронско распршивање, епитаксију МБЕ молекуларног снопа, таложење ПЛД ласерским распршивањем итд. Главна идеја је да се подели на два типа: испаравање и распршивање.
Процес градијента боје углавном користи опрему за премазивање магнетронским распршивањем. Тренутно, кућишта градијентне боје многих модела мобилних телефона као што су Хуавеи и Леново користе ПВД процес вакуумског градијента премаза.
Магнетронско распршивање је врста физичког таложења паре (Пхисицал Вапор Депоситион, ПВД). Општи метод распршивања може се користити за припрему метала, полупроводника, изолатора и других материјала, а има предности једноставне опреме, лаке контроле, велике површине премаза и јаке адхезије.
Метода магнетронског распршивања развијена 1970-их постигла је велику брзину, ниску температуру и малу штету. Пошто се -брзина распршивања врши под ниским притиском, брзина јонизације гаса мора бити ефективно повећана. Магнетронско распршивање уводи магнетно поље на површину циљне катоде и користи магнетно поље за ограничавање наелектрисаних честица како би се повећала густина плазме како би се повећала брзина распршивања.
Машина за вакуумско наношење магнетног распршивања је најчешће коришћена опрема за премазивање постојећих производа у условима вакуума. Комплетна машина за вакуумско облагање магнетронским распршивањем састоји се од више делова система. Сваки систем може да обавља различите функције да би постигао коначни премаз високог{2}}квалитета. Компоненте магнетронског премаза за распршивање укључују вакуумску комору, механичку пумпу, систем за вакуумско испитивање, пумпу за дифузију уља, вакуумски систем, кондензациону пумпу, систем за контролу формирања филма итд.
Главно тело машине за вакуумско облагање магнетронским распршивањем је вакуумска комора. Величина вакуумске коморе је одређена обрађеним производима. Величина премаза за распршивање магнетрона може се прилагодити. Комора је углавном направљена од нерђајућег челика и захтева се да буде јака, издржљива и без рђе-. Вакуумска комора за распршивање магнетрона има много спојних вентила за повезивање различитих помоћних пумпи.
Систем контроле формирања филма магнетронског распршивања може усвојити различите методе, као што су фиксно време наношења, визуелна инспекција, екстремно праћење и праћење кристалних вибрација. Машине за вакуумско премазивање и методе превлачења машина за вакуумско облагање такође су подељене на различите процесе. Уобичајено коришћене укључују премаз за испаравање јона и премаз за распршивање магнетрона. Слој филма обложен магнетронским распршивањем има јаку адхезију и високу чистоћу и може истовремено распршивати различите материјале различитих састава.
