Прво, морамо да разјаснимо да контаминација вакуумске коморе у суштини укључује разне нечистоће (водена пара, угљоводоници, прашина, маст, итд.) које се лепе на зидове коморе или површине унутрашњих компоненти, формирајући изворе гаса и паре који нарушавају равнотежу вакуумске средине. Ови загађивачи долазе из широког спектра извора, укључујући заосталу течност за сечење и мазиво од обраде радног комада, зној руку током рада, прашину у ваздуху, па чак и нечистоће у траговима које уноси вакуум пумпа или испарљиве материје из циљаног материјала или супстрата. Без обзира на врсту контаминације, основна стратегија опоравка је „прецизно уклањање нечистоћа без оштећења материјала коморе и обнављање вакуумског окружења“. Различите врсте контаминације захтевају различите методе опоравка.
Метод 1: Загревање да би се „испариле“ нечистоће - Метода чишћења вакуумским грејањем Ово је најосновнија и најчешће коришћена метода рестаурације. Принцип је веома једноставан: баш као и сушење одеће са мрљама од воде, загревање изазива испаравање испарљивих нечистоћа (као што су водена пара и благи угљоводоници) на површини шупљине, а затим се уклањају помоћу вакуум пумпе, чиме се постиже чишћење.
Метод 2: Ултраљубичасто „разлагање“ контаминаната - Метода чишћења ултраљубичастим зрачењем. Ако се контаминација шупљине углавном састоји од угљоводоника (као што су заостало уље за подмазивање и органски загађивачи), метода чишћења ултраљубичастом зрачењем ће бити ефикаснија. Штавише, није-контактан и не-оштећује током целог процеса, што га чини посебно погодним за сценарије са изузетно високим захтевима за материјалом, као што су прецизне оптичке шупљине и полупроводничке вакуумске шупљине.
Метод 3: Деконтаминација јоном „бомбардом“ - Метода чишћења пражњењем. За шупљине високог вакуума и ултра{3}}високог вакуума (као што су опрема за вакуумско облагање и шупљине за имплантацију полупроводничких јона), контаминација је често тврдокорнија, посебно угљеник и угљоводоници на површини шупљина од нерђајућег челика, које је тешко уклонити обичним методама. У овом случају је потребна метода чишћења изливом, која је уједно и основна метода за дубоку рестаурацију вакуумских шупљина.
Метод 4: Гас „испира“ нечистоће - Метода испирања гасом Ако је шупљина само мало контаминирана, или ако је потребан брз опоравак и скраћивање времена евакуације, испирање гасом је најбољи избор. Дели се на испирање азотом и испирање реактивног гаса, који су погодни за различите сценарије.
Нагласак треба ставити на заштиту од-контаминације: Након рестаурације, кавитет треба држати даље од уља и прашине. Током рада треба предузети заштитне мере, а вакуум пумпу треба редовно одржавати како би се смањила могућност поновне контаминације. Ово је посебно важно у областима са изузетно високим захтевима за чистоћом, као што су полупроводници и ваздухопловство, где чистоћа шупљина директно одређује животни век производа и перформансе. Чистоћа вакуумске шупљине је „жила спаса“ врхунских-вакумских процеса. У ствари, савладавањем ове четири основне методе рестаурације и флексибилним одабиром одговарајуће методе на основу степена контаминације и материјала кавитета, проблеми контаминације кавитета могу се лако решити, обезбеђујући стабилан рад вакуум система. Са развојем прецизне производне индустрије, технологија усисавања се такође стално надограђује, од традиционалног чишћења грејањем до еколошки прихватљивог и ефикасног пражњења и чишћења плазмом. Све више метода штити чистоћу вакуумских шупљина, штитећи-производњу врхунског квалитета.
Добродошли посетите наш Тиктокхттпс://ввв.тикток.цом/@вацуум.цоатингмацхине за још видео снимака машина, хвала.
