Принцип рада мулти - АРЦ машине за облагање

МУЛТИ - АРЦ машина за превлачење ствара високог у плазму - кроз више извора АРЦ-а (4 {{8} 16), испарава метални материјал и депонује га на површини супстрата да би се постигао ефикасно премазивање (униформност дебљине филма). Његова основна вакуумска комора је подељена у комору за облагање (диплома вакуума мање или једнако 10 ^ - 3Па) и комори за претходну везу. Први осигурава нискометљиво окружење, а последњи се користи за чишћење супстрата и полирање да би се побољшало пријањање. The key process parameters include arc source power (20-200A), substrate temperature (100-300℃) and deposition rate (1-10nm/s), which need to be dynamically adjusted according to the substrate shape (such as complex curved surfaces) and material (metal/ceramic). Погодан је за сцене као што су филм против рефлексије оптичких сочива и тврдог премаза алата.