1. Пре - лечење
- Чишћење подлоге: Ултразвучно одмашћивање + плазми чишћење (снага 50-200В).
- Стезање и позиционирање: Осигурајте да је удаљеност између супстрата и извор испаравања 20-50 цм (што утиче на униформност филма дебљине).
2. Сцена премаза
- Пре - Спуштање: увести аргон гас (проток 10-50СЦЦМ) да бисте уклонили оксиде на површини циља.
- Главно таложење:
- Превоз испаравања: Оцени 0,1-10НМ / с (Повер Елецтрон Беам 5-20КВ).
- Магнетрон Спуптриц: Стопа полагања 0,01-1μм / мин (притисак гаса 0,1-1ПА).
3. Пост - третман
- Жандење и јачање (200-400 степени, 1-2 сата) да побољшају филмско пријањање (тест огреботина већи или једнак 5Н).
