Увод у машину за усисавање у вакуум

Подлога за обложеност назива се супстрат и материјал који се премазива назива се мета. Подлога и мета су у истој вакуумској комори.
Премаз испаравања углавном загрева мету тако да се површинске компоненте испаре у облику атомских група или јона. И то се смири на површини супстрата и формира танки филм кроз процес формирања филма (раштркане бодове - острвска структура - Вагал Структура - слојевити раст). За превлачење за провлачење може се једноставно схватити као бомбардовање циља електронима или високим ласерима и високим - енергијом и да прође површинске компоненте у облику атомских група или јона и коначно депоновање на површини подлоге, подвргавају се процесу формирања филма и коначно формирајући танки филм.