Опрема за вакуумско облагање електронским снопом се обично користи за наношење АР/АФ премаза, укључујући тврде филмове, декоративне филмове, ИТО филмове, филтере за пропуштање и ХР филмове. Може се похвалити предностима као што су висока ефикасност, јачи производни капацитет и нижи трошкови производње. За АР филмове (пропусност стакла супстрата > 91,5%), у опсегу таласне дужине од 420-680нм, једнострано-просечна пропусност > 95% и рефлексија < 0,5% (просек). Двострани просечни пропуст > 98% и рефлексија < 0,5% (просек). Има широку примену на тржишту.
Технологија пресвлачења помоћу вакуумског испаравања укључује стављање материјала који испарава у челични лончић хлађен водом-и директно загревање помоћу снопа електрона. Материјал који испарава испарава, а затим се кондензује на површини супстрата да би се формирао филм. Ово је важан метод загревања и тренд развоја у технологији превлаке вакуумским испаравањем. Испаравање електронским снопом превазилази многе недостатке конвенционалног отпорног топлотног испаравања и посебно је погодно за производњу танкослојних материјала високе -тачке{5}}тачке{5}} и високе{6}} чистоће.
Технологија вакуумског испаравања, која се ослања на испаравање бомбардовањем електронским снопом, може се даље класификовати у неколико типова на основу облика извора испаравања електронског снопа, укључујући прстенасте топове, праве топове, топове типа Е- и електронске топове са шупљом катодом.
Прстенасти пиштољ емитује сноп електрона са катоде у облику прстена-. Након што се фокусира и одбије, сноп удара у лончић, узрокујући испаравање метала. Његова структура је релативно једноставна, али су му снага и ефикасност ниске, што га чини првенствено лабораторијским уређајем; више се не користи у производним објектима.
Прави пиштољ је осносиметрични линеарни акцелератор где се електрони емитују са катоде филамента, фокусирају се у фини сноп, убрзавају га анода, а затим ударају у лончић, топи и испарава материјал за облагање. Прави топови имају снагу од неколико стотина вати до неколико стотина киловата; неки се користе за вакуумско испаравање, док се други користе за вакуумско топљење. Недостаци правих пушака су то што испарени материјал може контаминирати структуру пиштоља, узрокујући оперативну нестабилност. Поред тога, јони натријума који излазе из филамента такође могу контаминирати премаз. Недавно је једна западнонемачка компанија развила побољшану верзију правог пиштоља додавањем одбојног магнетног поља на излазу електронског снопа и уградњом независног система за евакуацију на филаменту. Ово не само да у потпуности елиминише контаминацију филамента премаза већ и продужава животни век пиштоља.
Електронски топ типа е-, са отклоном од 270-степени, превазилази недостатке испаравања електрона правог-топа и један је од најчешће коришћених извора испаравања електронских зрака. Електронски пиштољ типа е- може да генерише велику густину снаге, да топи метале високе{6}}тачке{7}}тачке и производи честице испаравања високе енергије, што резултира снажном везом између филма и подлоге и добрим квалитетом филма. Недостаци су што електронски топ захтева висок вакуум и негативан високи напон, што доводи до сложене структуре опреме, лоше безбедности, потешкоћа у одржавању и високих трошкова.
Електронски пиштољ са шупљом катодом користи сноп електрона плазме који се генерише ниским-напоном велике-пражњења шупље катоде као извор загревања. Користи шупљу танталну цев као катоду, лончић као аноду и помоћну аноду у близини танталне цеви. Током таложења паре помоћу електронског пиштоља са шупљом катодом, генерисани јони испаравања имају високу енергију и високу стопу јонизације, што доводи до-филмова високог квалитета. Електронски топ са шупљом катодом захтева нижи ниво вакуума од електронског пиштоља типа е- и ради на ниском напону, чинећи опрему релативно једноставнијом, безбеднијом и јефтинијом. Тренутно, електронски топови типа е- и шупље катоде су успешно примењени у опреми за таложење паре и јонско превлачење у нашој земљи. Снага пиштоља може да достигне десетине хиљада киловата, а разни танки филмови су депоновани за индустрије као што су машине и електроника.
Предности извора испаравања у опреми за вакуумско облагање електронским снопом су:
1) Извор топлоте за бомбардовање електронским снопом има велику густину струје снопа, постижући много већу густину енергије од отпорних извора грејања. Може да испари материјале до 3000 степени Целзијуса са великом стопом испаравања;
2) Пошто се материјал који се испарава ставља у лончић хлађен водом-, избегава се испаравање материјала контејнера и реакције између материјала контејнера и материјала за испаравање, што је кључно за побољшање чистоће превлаке;
3) Топлота се може директно применити на површину материјала за испаравање, што резултира високом топлотном ефикасношћу и минималним губицима кроз проводљивост топлоте и зрачење.
