Перформансе заптивања су кључни аспект пројектовања опреме за вакуумско облагање, пошто њен квалитет директно утиче на то да ли се ниво вакуума потребан за премазивање може постићи током накнадног процеса вакуумирања. Ако овај захтев није испуњен, то ће директно утицати на формирање и квалитет филма. Да би се обезбедиле добре перформансе заптивања опреме или система за вакуумско премазивање, далеко је од довољног једноставног лоцирања и блокирања цурења након инсталације. Неопходно је спровести детекцију вакуумског цурења у свим фазама пројектовања, производње, пуштања у рад и употребе опреме или система за вакуумско облагање.
Разматрање дизајна заМашина за вакуумско премазивање
1. Одредите укупну максималну дозвољену стопу цурења вакуумске опреме на основу захтева процеса, а затим одредите максималну дозвољену стопу цурења сваке компоненте на основу ове укупне стопе цурења.
2. На основу максимално дозвољене стопе цурења и других показатеља опреме, прелиминарно одредити методе детекције цурења које ће се користити у фази пројектовања и користити ово као један од основних принципа за пуштање у рад и пријем.
3. На основу индикатора максималне дозвољене стопе цурења опреме или компоненти, одредити методе заптивања и повезивања и укупну тачност машинске обраде опреме, као и који тип динамичког заптивања може да испуни захтеве. На пример, да ли да користите металне или гумене заптивке за прирубнице.
4. Приликом пројектовања структурне чврстоће контејнера, узмите у обзир отпорност на притисак и структурну чврстоћу потребну за тестирану компоненту ако се користи метода детекције цурења под притиском.
5. Када бирате структурне материјале за компоненте, размотрите да ли се користе материјали који могу бити кородирани и оштећени радним медијумом и гасом за{1}}испитивање цурења.
6. Током пројектовања конструкције, на контејнеру или систему треба да буду обезбеђени неопходни резервни интерфејси за инструменте за детекцију цурења за употребу током монтаже опреме и пуштања у рад. Посебно за велике и сложене системе цевовода, често су потребне сегментиране методе детекције цурења; стога, сегментирани изолациони вентили треба да буду инсталирани на цевоводу, а интерфејси инструмената за детекцију цурења треба да буду резервисани на сваком сегменту изолације.
7. Приликом пројектовања структурних компоненти, избегавајте шеме дизајна које могу да ометају детекцију цурења. На пример, слепе рупе не би требало да се користе за рупе за вијке у вакуумској комори, јер након уградње завртња, гас у преосталом простору унутар отвора за завртње може да побегне само кроз отвор навоја, формирајући лажно цурење. Ово продужава време евакуације система и омета нормално откривање цурења. Погледајте дијаграм за структуре које не би требало да се појављују у детекцији цурења у вакууму.
8. Слично томе, непрекидни двострани-завари и више-слојне структуре заптивних прстенова нису дозвољени у конструкцијском дизајну, јер ће они створити „паразитну запремину“ у средини, узрокујући цурење гаса изнутра. Штавише, када истовремено пропуштају и унутрашњи и спољашњи завари или заптивни прстенови, „паразитска запремина“ чини време одзива да гас који цури прође кроз двослојни заварени -завар предугачак, што онемогућава нормално откривање цурења.
9. У пројектовању заварених конструкција, минимизирајте број заварених спојева који се не могу открити због цурења након завршне монтаже.
Горе наведене тачке су мере предострожности за детекцију цурења у опреми за вакуумско премазивање. Квалитет перформанси заптивања директно одређује да ли опрема може бити успешно прихваћена и да ли њен квалитет испуњава стандарде.
